鍍膜設備抽氣不均會影響鍍膜均勻性。基片干凈很重要。鍍膜前要將基片表面認真清潔干凈，達到工件去油、去污和脫水的目的。基板表面污染從零件在加工，運輸等過程中附著的各種各樣的灰塵、油脂、拋光膏、汗漬等，在潮濕環境下，基片表面易氧化，形成氧化膜吸附氣體。對于這些污物，能用去油或化學方法清洗干凈。
　　干凈的基片不要直接放在外面，需要用封閉容器存放，減少沾污。鍍膜室內也是會積灰的，所以要清洗鍍膜室內，烘烤除氣，并將機器放置在干凈的環境里。注意擴散泵返油。鍍膜的原材料有很多，如樹脂、硅酮、硅鹽酸、聚合物等，輔料、配方的比列有所不同，薄膜也不同。