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    真空鍍膜設備

    科技創新為動力 專業服務為目標
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    常規配置
    ? 真空泵系統
    低真空泵:旋片式機械泵(蒸壓機械泵:930m3 h-1)
    高真空泵:擴散泵(選擇:低溫泵或滑輪分子泵)

    ? 真空閥系統
    型號:3/8”,2”,4”,22“

    ? 真空室加熱系統
    高溫度:0到400℃
    型號:滷素燈(選擇:微型加熱器)
    基片型號:球面型或行星型
    轉速:0到30轉速/分
    軟起,軟停,可調速瀘

    ? 電子控制系統
    型號:計算機控制面板
    可修改和改變任何需要的控制
    全程控制鍍膜以達到產品所需的要求
    提供所需要的技術信息

    ? 真空計系統
    高真空感應器:2
    低真空感應器:1
    選擇配置
    ? 薄膜沉積控制系統
    沉積控制:IC-5 (INFICON)
    MDC360 (MAXTEK)等等
    石英晶髓感應器:1,2,6頭

    ? 光控離子源
    無柵型:直流型
    燈絲型:直流型,頻射型

    ? 電子束源
    容量:15cc,25cc,40cc等等
    偏轉角度:180度或270度
    坩鍋:4,6,8倜等等

    ? 深冷系統
    除霜室
    擴散泵

    ? 水冷卻系統
    水或氣冷卻器
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